Amit Pratap Singh

Wla?ciwo?ci elektryczne i mechaniczne cienkich warstw mezoporowatej krzemionki Amit Pratap Singh

Cienkie warstwy mezoporowatej krzemionki (MPS) s? atrakcyjne do zastosowania jako nisko-? dielektryk mi?dzywarstwowy (ILD) w ukladach scalonych. Jednak?e folie te s? podatne na niestabilno?ci w zachowaniu elektrycznym spowodowane absorpcj? wody i dyfuzj? miedzi. W niniejszej pracy omówiono niestabilno?ci elektryczne, chemiczne i termiczne, dyfuzj? Cu oraz adhezj? tych materialów w celu oceny i umo?liwienia ich wykorzystania w przyszlo?ci jako ILD w okablowaniu urz?dze?. Stabilno?c termiczna grup funkcyjnych i adhezja tych filmów z Cu s? równie? kluczowymi pytaniami dla integracji tych dielektryków w rzeczywistych urz?dzeniach. Staramy si? odpowiedziec na te pytania dla kilku rodzajów funkcjonalnych folii MPS. Struktura porów jest kolejnym kluczowym parametrem w definiowaniu mechanicznych i elektrycznych wla?ciwo?ci folii MPS. W niniejszej pracy do wi?kszo?ci bada? wykorzystali?my folie MPS o porach w ksztalcie kostki 3D. Ró?nice we wla?ciwo?ciach folii MPS z porami zorientowanymi równolegle do podlo?a (2D-heksagonalne) i folii MPS z porami o ksztalcie sze?ciennym (3D-kubiczne) s? omówione pod koniec pracy. Podsumowuj?c, praca ta pokazuje mo?liwo?ci dostosowania wla?ciwo?ci elektrycznych i mechanicznych dielektryków MPS o niskim wspólczynniku? do przyszlych zastosowa?.