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Technologien der Mikrosysteme Ha Duong Ngo 1. Aufl. 2022 edition
Technologien der Mikrosysteme
Ha Duong Ngo
Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding).
| Media | Books Paperback Book (Book with soft cover and glued back) |
| Released | January 2, 2023 |
| ISBN13 | 9783658374976 |
| Publishers | Springer Fachmedien Wiesbaden |
| Pages | 246 |
| Dimensions | 239 × 168 × 20 mm · 436 g |
| Language | German |